
TA2純鈦圓靶的性質:
產品名稱:鈦及鈦合金靶
- 產品牌號:TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
- 產品材質:純鈦、鈦合金
- 產品狀態:退火(M)
- 產品用途:治金、電子、醫療、化工
- 產品應用:半導體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業
- 產品第規:可按需定制
- 產品標準:GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
產品性能:純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。
鈦靶材的雜質含量要求
靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
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