TA0鈦靶材的性質(zhì)：

• 產(chǎn)品名稱：鈦及鈦合金靶
• 產(chǎn)品牌號(hào)：TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
• 產(chǎn)品材質(zhì)：純鈦、鈦合金
• 產(chǎn)品狀態(tài)：退火(M)
• 產(chǎn)品用途：治金、電子、醫(yī)療、化工
• 產(chǎn)品應(yīng)用：半導(dǎo)體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業(yè)
• 產(chǎn)品第規(guī)：可按需定制
• 產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)：GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS

鈦靶材對(duì)純度的要求

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

億沐鑫公司產(chǎn)品分類：鈦棒、鈦管、鈦板、鈦陽(yáng)極、鈦箔鈦帶、鈦法蘭、鈦絲、鈦靶材、鈦設(shè)備、鈦餅鈦環(huán)、鈦標(biāo)準(zhǔn)件、鈦加工件