純鈦板靶的性質(zhì)：

• 產(chǎn)品名稱：鈦及鈦合金板靶

• 產(chǎn)品牌號：TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
• 產(chǎn)品材質(zhì)：純鈦、鈦合金
• 產(chǎn)品狀態(tài)：退火(M)
• 產(chǎn)品用途：治金、電子、醫(yī)療、化工
• 產(chǎn)品應(yīng)用：半導(dǎo)體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業(yè)
• 產(chǎn)品第規(guī)：可按需定制

• 產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)：GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
  

       

純鈦靶晶粒尺寸及晶粒尺寸分布：

•  通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。