1 真空系統設計注意事項
真空元件，如閥門、捕集器、收塵器、真空泵等相互連接時，要盡量使抽氣管路短而粗，管道流導大，導管直徑一般不小于泵口直徑。為了防止泵體震動，常用軟管減震，并調整裝配誤差。所設計的真空系統要便于測量和檢漏；真空規管要避免設在通過帶水套的殼體上，應設置在主泵入口管道上，要上下直立，勿橫放。
真空系統配置的閥門和管道應符合系統抽氣時間短、使用方便、安全可靠的原則。在機械泵入口管道上要設一個放氣閥。真空系統的排氣要穩定可靠，安裝、拆卸、維修容易，操作方便。在設計真空系統時，應盡量采用新技術，使之具有自動控制和連鎖保護功能，并同時達到能耗低和造價低的目的。

2 主泵的選擇
選擇合適的主泵類型和規格是真空系統設計的關鍵。主泵應根據反應器所要達到的真空度和工作真空度、被抽氣體的種類及其中夾雜灰塵的情況，以及技術經濟指標來確定。圖6-10和圖6-11所示為采用常用的油擴散泵、油增壓泵和機械增壓泵3種類型的中高真空泵作主泵的技術經濟指標比較。如果上述3種泵都適用作某種冶金真空系統的主泵時，必須考察其各自技術經濟指標的優劣，最后確定最佳方案。由此可見，在冶金反應器工作壓力p狀態不同的情況下，選用不同泵組會獲得不同的技術經濟指標。此時必須考察整套真空系統，而不能單獨考察主泵。實踐表明，冶金反應器工作壓力p為0.1~13.3Pa時，以油增壓泵為主泵的真空系統比較經濟；當p<0.13Pa時，以油擴散泵為主泵的排氣系統比較經濟；當p>13.3Pa時，以機械增壓泵為主泵的排氣系統比較經濟。主泵的規格大小是按冶金反應器所需的工作壓力和最大的排氣流量，并同時根據冶金反應器的大小和需用的抽氣時間來確定的。

3配泵
主泵確定后還必須配置合適的前級泵，有時還需配置維持泵及預抽泵。復雜的真空機組常常將幾種泵串聯或并聯使用。前級泵的配置應通過理論計算算出，或根據經驗數據選取，也可參考原機械工業部制定的推薦值。機械增壓泵的前級泵抽速推薦值為機械增壓泵抽速的1/10.油擴散泵和油增壓泵前級泵的推薦抽速見表6-2. 

真空系統的設計方案應在實踐中不斷改進，不斷完善。

4 鈦冶金真空系統舉例
鈦冶金中涉及的幾個真空系統的實例都有一些共同點，即系統的工作壓力稍大，真空度較低，反應器內排氣量大并夾帶有較多的固體灰塵。這種真空系統屬中真空系統，應用普遍，一般需要2個以上的泵串聯組成。主泵選用油增壓泵－機械增壓泵，也可以是單一的油增壓泵。下面進行具體介紹。

4.1 真空自耗電弧爐和凝殼爐的真空系統
真空自耗電弧爐是熔煉鈦和鈦合金的主要爐型，它的真空系統如圖6-12所示。這種真空系統具有典型性，特別適用于鈦錠的熔煉。該系統以油增壓泵和機械增壓泵為主泵，兩泵并聯，出口處串聯一機械增壓泵，再串聯前級泵－機械泵。它兼有機械增壓泵和油增壓泵的雙重特點，在真空自耗電弧爐熔煉過程中，在很寬的工作壓力范圍內（130~0.1Pa)啟動快，抽速很大。
凝殼爐是鑄造鈦的主要爐型，它的真空系統如圖6-12所示。它所需要配置的泵組合與自耗電弧爐相似。

4.2 鎂還原煉鈦的真空系統
鎂還原法煉鈦常采用真空蒸餾法精制海綿鈦，采用真空系統能獲得較好的精煉效果。從理論上講，真空系統也可選擇油增壓

泵－機械增壓泵作主泵。實踐表明，采用機械增壓泵作主泵時，初期使用效果良好，但繼續使用后，泵腔轉子和定子間隙很快被蒸發出的MgCl2等固體塵粒堵塞無法繼續運轉。由于生產過程中有大量MgCl2固體塵粒蒸發，如選用機械增壓泵作主泵，則必須采取有效的收塵措施，所以只能用油增壓泵作主泵。主泵采用單一的油擴散泵也不太適宜，這會延長蒸餾時間。這種真空系統的前級泵采用機械泵。

4.3 HDH法制取鈦粉的真空系統
用HDH法制取鈦粉時，在脫氫過程中有大量氫氣揮發，系統真空度很低，一般采用單一的機械泵即可。如要制取低氫鈦粉，真空機組主泵宜用油增壓泵，而不用機械增壓泵，這是因為油增壓泵脫氫效果好，而機械增壓泵脫氫效果差。它的前級泵宜用機械泵。在粉末冶金制取鈦制品時，燒結爐采用機械泵－油增壓泵機組作為真空系統是適宜的。主泵也采用油增壓泵。

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